‘…真½Iº气体内的气体状态是动态åã^衡状态。系¾lŸ内的压力极限,一斚w�¢与æ܇的有效抽速有养I¼Œ另一斚w�¢与来自真½Iº壳体及其内部的雉™ƒ¨件的气流量有兟뀂因虽有¾pȝ»Ÿ的有效抽速由于æ܇有结构尺寸和费用的原因,æ€Õd˜在实际限制。所以,减少气流量就成äؓ辑ֈ°‘…高真空状态的基本设计目标åQŒ成为选择‘…高真空材料的主要准则ã€?/DIV>
作äؓ真空¾pȝ»Ÿ内部用的材料åQŒ要求饱和蒸汽压低,ä¸ÞZº†减少慢性解吸和体出气,要求能è€?50℃高温烘烤,而不降低机械强度和不发生化学和物理损伤。作为真½Iº系¾lŸ壳体材料,要求能忽略气体渗透,承受得住大气压的压力åQŒ烘烤期间耐空气äçR蚀和不发生漏气。此外,要求选用材料åQŒ加工制作容易,价廉易得ã€?/DIV>
对于真空度低äº?0-7Pa的超高真½Iº,虽然天然å’?a href="http://m.hegelpharm.cn" target="_blank">合成Š™¡胶是理想的密封圈材料,å¼Ҏ(gu¨©)€§好åQŒ装配成真空密封后法兰螺栓受力很ž®�,而且可以多次重复使用。但ç”׃ºŽ‘…高真空¾pȝ»Ÿ要求密封圈材料è€?50℃烘烤,实际上可可供选用的几¿U�橡胶材料都不能满èƒö要求。真½Iº度更高(卛_Ž‹力更ä½?的超高真½Iº,则必™å»采用金属密ž®�ã€?/DIV>